3元マグネトロンスパッタリングによるY-Ba-Cu-O膜の作製
(Preparation of High-Tc Y-Ba-Cu-O Films by Three-Target Magnestron Sputtering)
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作成時刻: 2016-05-24 11:31:39 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:56:51 +0900