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Effects of Hydrogen in Working Gas on Valence States of Oxygen in Sputter-Deposited Indium Tin Oxide Thin Films
(スパッター蒸着したITO薄膜の酸素原子価に対する水素ガスの効果)

Suning Luo, Shigemi Kohiki, Koichi Okada, Atsushi Kohno, Takayuki Tajiri, Masao Arai, Satoshi Ishii, Daiichiro Sekiba, Masanori Mitome, Fumiya Shoji.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2016-05-24 16:02:48 +0900更新時刻: 2024-07-06 08:17:38 +0900

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