Novel Precursor for Development of Si–C₂H₄–Si Networks in SiCH for Application as a Low-kCap Layer beyond 22 nm Nodes
(22nmノード以降のlow-kキャップ層への適用を目的とした、SiCH膜中にSi–C2H4–Siネットワークを形成するための新規プリカーサ)