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電子照射によるシリコンの表面応力の緩和
(Electron stimulated surface stress relaxation on Si)

成島哲也, 中村明子, 北島正弘, 河辺隆也.
表面科学 . 2001.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2022-09-05 11:06:22 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:06:22 +0900

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