イオンプレーディング法によって形成したTiC膜の密着性におよぼすイオン化の効果
(Effect of ionization on the adherence of Tic film deposited by means of ion platntng method)
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2022-09-05 10:27:09 +0900 Updated at: 2022-09-05 10:27:09 +0900