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マグネトロスパッタによるMoのTixC1-x被膜の特性
(Properities of TixC1-x Films Coate on Molybdenum by Magnetron Sputtering)

四竃樹男, 新野仁, 福富勝夫, 藤塚正和, 北島 正弘, 岡田雅年, T. Shikama, H. Shinno, M. Fukutomi, M. Fujitsuka, M. Okada.
Thin Solid Films 101 [3] 233-242. 1983.
https://doi.org/10.1016/0040-6090(83)90250-x

NIMS著者

    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

      作成時刻: 2016-05-24 11:27:18 +0900 更新時刻: 2026-10-03 06:00:07 +0900

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