マグネトロスパッタによるMoのTixC1-x被膜の特性
(Properities of TixC1-x Films Coate on Molybdenum by Magnetron Sputtering)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:27:18 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:33:35 +0900