Determination of Beam Affected area and Degradation of Cathodoluminescence in GaAs Induced by Focused Ion Beam Irradiation
(透過型電子顕微鏡中で集束イオンビームにより微細加工したGaAsのミクロ組織とカソードルミネッセンスの変化)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:35:41 +0900 更新時刻: 2018-12-14 22:17:50 +0900