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著者名武井厚, 石田 章, 石田章.
タイトル活性化反応蒸着法によるTiC皮膜の特性と形成条件
(Relation between the coating conditions and the properties of the Tic layer)
掲載誌名金属表面技術 37 5
発表年1985
言語Japanese
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