活性化反応蒸着法によるＴｉＣ皮膜の特性と形成条件
(Relation between the coating conditions and the properties of the Tic layer)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:28:42 +0900 更新時刻: 2018-12-14 22:16:57 +0900