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著者名Byung hoon Woo, Masato Sone, Shibata Akinobu, Chiemi Ishiyama, Kaoru Masuda, Masahiro Yamagata, Yakichi Higo.
タイトルMetallization on polymer via quantitatively controlled catalyzation in Sc–CO2 and electroless plating with Sc–CO2 emulsion for micro and nano-device
掲載誌名Microelectronic Engineering 86 [4-6] 1179-1182
ISSN: 01679317
ESIでのカテゴリ: ENGINEERING
出版社Elsevier BV
発表年2009
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.mee.2008.11.096
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