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MEMS/NEMS based on mono-, nano-, and ultrananocrystalline diamond films

Anirudha V. Sumant, Orlando Auciello, Meiyong Liao, Oliver A. Williams.
MRS Bulletin 39 [6] 511-516. 2014.

NIMS著者


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      作成時刻: 2016-05-24 17:30:51 +0900更新時刻: 2024-10-06 07:03:37 +0900

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