Auスパッタエッチングにおけるスパッタ温度と表面凹凸形成
(The effect of sputtering temperature on the surface of roughness at nano-scale during Ar sputter etching)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 14:45:51 +0900 更新時刻: 2018-12-14 21:51:31 +0900