HOME > Article > Detail電子デバイスのオペランド光電子分光実験(Operando Scanning Photoelectron Microscopy Analysis for Electronic Devices)永村 直佳, 堀場 弘司, 尾嶋 正治. 表面科学 37 [1] 25-30. 2016.https://doi.org/10.1380/jsssj.37.25 Open Access 公益社団法人 日本表面科学会 (Publisher) NIMS author(s)NAGAMURA, NaokaFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2016-11-30 23:47:52 +0900Updated at: 2024-04-01 18:55:59 +0900