HOME > 論文 > 書誌詳細Surfaa Stress in Silicon Oxide Layer(シリコン酸化層中の表面応力の研究)ITAKURA, Akiko, 成島哲也, KITAJIMA, Masahiro. Trans MRS-3 . 1999.NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:55:48 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:55:48 +0900
