X線反射率法の応用について ―薄膜・多層膜の埋もれた層・界面の密度、膜厚、ラフネスの決定
(Application of X-ray reflectivity technique – Determination of density, thickness and roughness of buried layers and interfaces in multilayered thin films)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 15:37:46 +0900更新時刻: 2018-06-09 22:43:08 +0900