Ultrahigh vacuum and low-temperature cleaning of oxide surfaces using a low-concentration ozone beam

著者	A. Pratt, P. Graziosi, I. Bergenti, M. Prezioso, A. Dediu, Y. Yamauchi.
掲載誌名	Review of Scientific Instruments 85 [7] 075116 ISSN: 00346748, 10897623 ESIでのカテゴリ: CHEMISTRY
出版社	AIP Publishing
発表年	2014
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1063/1.4890208
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