Bayesian estimation analysis of X-ray photoelectron spectra: Application to Si 2p spectrum analysis of oxidized silicon surfaces

Hiroshi Shinotsuka; Kenji Nagata; Hideki Yoshikawa; Shuichi Ogawa; Akitaka Yoshigoe; Hiroshi Shinotsuka; Kenji Nagata; Hideki Yoshikawa; Shuichi Ogawa; Akitaka Yoshigoe

doi:10.1016/j.apsusc.2024.162001

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Bayesian estimation analysis of X-ray photoelectron spectra: Application to Si 2p spectrum analysis of oxidized silicon surfaces

Hiroshi Shinotsuka, Kenji Nagata, Hideki Yoshikawa, Shuichi Ogawa, Akitaka Yoshigoe.

Applied Surface Science 685 162001. 2025.

https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.162001

Open Access Elsevier BV (Publisher) Materials Data Repository (MDR)

NIMS著者

論文紹介

X線光電子分光スペクトルのベイズ推定解析：酸化シリコン表面のSi 2pスペクトル解析への応用

放射光を用いた光電子分光法による高分解能なスペクトルデータの解析において、熟練の経験者と同等の解析結果を得る自動解析法を開発した。数理科学におけるベイズ推定を基盤とした解析方法によって、スペクトルに含まれるピークの数をデータから直接推定するだけでなく，各ピークの位置や形状も事後分布として可視化することができる。これにより、熟練経験者でも成し得なかった、Si酸化過程における各ピーク成分の変化を明瞭に観察できた。本成果は次世代立体構造半導体デバイスや触媒などの開発に活用されると期待される。

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MDRavailable Bayesian estimation analysis of X-ray photoelectron spectra: Application to Si 2p spectrum analysis of oxidized silicon surfaces

作成時刻: 2024-12-26 03:17:02 +0900 更新時刻: 2025-04-02 04:33:43 +0900