The size dependence of the nano-dots formed by electron beam induced deposition on the partial pressure of the precursor | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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The size dependence of the nano-dots formed by electron beam induced deposition on the partial pressure of the precursor
(電子線誘起蒸着により作製したナノドットサイズの前駆体ガス分圧依存性)

M. Tanaka, M. Shimojo, K. Mitsuishi, K. Furuya.

Applied Physics A: Materials Science & Processing 78 [4] 543-546. 2004.

https://doi.org/10.1007/s00339-003-2394-z

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作成時刻: 2016-05-24 11:59:12 +0900更新時刻: 2024-04-01 20:52:04 +0900

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