Effect of oxygen source and buffer layer on crystal structure and electric property of ZnO films grown by pulsed laser depositio | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Effect of oxygen source and buffer layer on crystal structure and electric property of ZnO films grown by pulsed laser depositio
(PLD法により作製されたZnO薄膜の結晶構造と電気特性に酸素源とバッファレイヤーが及ぼす影響)

ADACHI, Yutaka, RYOKEN, Haruki, SAKAGUCHI, Isao, OHASHI, Naoki, HANEDA, Hajime, 竹中正.

KEY ENGINEERING MATERIALS 83-86. 2003.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2022-11-15 00:40:32 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:40:32 +0900

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