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著者名H. Jin, H. Shinotsuka, H. Yoshikawa, H. Iwai, S. Tanuma, S. Tougaard.
タイトルMeasurement of optical constants of Si and SiO2 from reflection electron energy loss spectra using factor analysis method
掲載誌名Journal of Applied Physics 107 [8] 083709
ISSN: 00218979, 10897550
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社AIP Publishing
発表年2010
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.3346345
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