HOME > 論文 > 書誌詳細Formation of Polycrastalline SiC Film by Excimer-Laser chemical Vapor Deposition,H. Suzuki, H. Araki, F. Abe, 岡田雅年, T. Noda, M. Okada. Journal of Materials Science Letters 11 [8] 477-478. 1992.https://doi.org/10.1007/bf00731109 NIMS著者鈴木 裕阿部 冨士雄Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:33:04 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:26:54 +0900
