超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA薄膜アクチュエータの設計
(Design Construction of Beam Structured Vertical Drive SMA Thin Film Actuator for Small Tactile Display)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 15:48:47 +0900更新時刻: 2024-04-01 17:26:33 +0900