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著者名吉川 弥, 篠部 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 石田 章, 田畑 修.
タイトル超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA薄膜アクチュエータの設計
(Design Construction of Beam Structured Vertical Drive SMA Thin Film Actuator for Small Tactile Display)
掲載誌名電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 128 [4] 151-160
ISSN: 13475525 13418939
発表年2008
言語Japanese
DOI10.1541/ieejsmas.128.151
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