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著者名Tokuyuki Teraji.
タイトルChemical Vapor Deposition of Homoepitaxial Diamond Films
掲載誌名Physics and Applications of CVD Diamond 29-75
出版社Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
発表年2008
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1002/9783527623174.ch3
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