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Defects in hydrogenated microcrystalline silicon prepared by plasma-enhanced chemical vapour deposition
(プラズマCVD法により作製した微結晶Siにおける欠陥)

K. Morigaki, C. Niikura, H. Hikita, M. Yamaguchi.
Journal of Applied Physics 105 [8] 083703. 2009.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2016-05-24 15:51:27 +0900更新時刻: 2025-02-10 09:15:29 +0900

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