高イオン伝導性リチウム固体電解質（SSE）薄膜は、全固体電池応用だけでなく人工知能デバイスを実現するための要素材料としても注目されています。本研究では、原子層堆積法（ALD）を用いて高イオン伝導リチウムリン酸窒化物（LiPON）薄膜を作製するためにプラズマプロセスの最適化を行いました。その結果、室温で1.65E-6 S/cmのイオン伝導度が得られ、これまで報告されているLiPONのALD膜としては最高値でした。この結果は、開発したALDプロセスが高性能なLi SSE膜の実現に有力であることを示しています。

作成時刻: 2024-06-28 03:12:36 +0900更新時刻: 2025-03-07 04:30:10 +0900