ファクターアナリシス法によるGaAs/AlAs超格子構造のAES深さ方向解析.
(Auger Depth Profiling of GaAs/AlAs Superlattice Structure by Using Factor Analysis.)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:34:05 +0900更新時刻: 2018-12-14 22:06:43 +0900