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Pulse mode effects on crystallization temperature of titanium dioxide films in pulse magnetron sputtering
(二酸化チタン薄膜の結晶化温度に及ぼすパルスモードの影響)

Takahira Miyagi, Masayuki Kamei, Tomoyuki Ogawa, Takefumi Mitsuhashi, Atsushi Yamazaki, Tetsuya Sato.
Thin Solid Films 442 [1-2] 32-35. 2003.
https://doi.org/10.1016/s0040-6090(03)00934-9

NIMS著者

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      作成時刻: 2016-05-24 11:57:35 +0900 更新時刻: 2026-11-04 06:10:55 +0900

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