イオンプレーティング法により作成した金属間化合物Ti-Al薄膜の構造とNイオン注入効果.
(Ti-Al Thin Films Prepared by Ion Plating Method and Their Surface Modification by Nitrogen Ion Implantation.)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:30:53 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:11:51 +0900