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NIMS Awardシンポジウム2026

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Novel Damascene Gate Metal–Oxide–Semiconductor Field-Effect Transistors Fabricated by In situ Arsenic- and Boron-Doped Epitaxy

Yoshiaki Kikuchi, Yasushi Tateshita, Yuki Miyanami, Hitoshi Wakabayashi, Yukio Tagawa, Naoki Nagashima.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2026-09-01 18:18:52 +0900 更新時刻: 2026-11-04 07:11:47 +0900

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