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Photon Irradiation Effects under Ion Implantation into Insulators and Applications to Optical Material Processing
(絶縁体中へのイオン注入下におけるフォトン照射効果と光学材料プロセッシングへの応用)

KISHIMOTO, Naoki, 大久保成彰, 梅田直樹, TAKEDA, Yoshihiko, N. Okubo, N. Umeda.
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 191 [1-4] 115-120. 2002.
https://doi.org/10.1016/s0168-583x(02)00523-2

NIMS著者

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    作成時刻: 2016-05-24 11:44:40 +0900 更新時刻: 2026-10-03 06:34:00 +0900

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