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ＴｉＣ皮膜のスパッタリング、重水素捕獲および表面損傷に対する化学量論組成の影響
(The Effect of Stoichiometry on Sputtering,Deuterium Retention,and Surface Damage in Titanium Carbide Films.)

北島 正弘, 野田哲二, 岡田雅年, T. Noda, M. Okada.
Thin Solid Films 156 [2] 231-238. 1988.
https://doi.org/10.1016/0040-6090(88)90316-1

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      作成時刻: 2016-05-24 11:29:56 +0900更新時刻: 2024-04-01 20:42:40 +0900

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