ＴｉＣ皮膜のスパッタリング、重水素捕獲および表面損傷に対する化学量論組成の影響
(The Effect of Stoichiometry on Sputtering,Deuterium Retention,and Surface Damage in Titanium Carbide Films.)
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Created at: 2016-05-24 11:29:56 +0900Updated at: 2024-04-01 20:42:40 +0900