TiC皮膜のスパッタリング、重水素捕獲および表面損傷に対する化学量論組成の影響
(The Effect of Stoichiometry on Sputtering,Deuterium Retention,and Surface Damage in Titanium Carbide Films.)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻 :2016-05-24 11:29:56 +0900 更新時刻 :2020-11-16 23:10:53 +0900