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著者名A.D. Pogrebnjak, G. Abadias, P. Chartier, O.V. Bondar, I.V. Yakuschenko, Y. Takeda, R. Krause-Rehberg, D.A. Kolesnikov, V.M. Beresnev, J. Partyka.
タイトルInfluence of Deposition Parameters and Thermal Annealing on the Structure and Properties of Nitride Coatings (TiHfZrVNb)N
掲載誌名Acta Physica Polonica A 125 [6] 1296-1299
ISSN: 1898794X 05874246
発表年2014
言語English
ESIでのカテゴリPHYSICS
DOIhttps://doi.org/10.12693/aphyspola.125.1296
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