Microstructure of SiC Thin Films Produced on Graphite by Excimer-laser Chemical Vapor Deposition.
(エキシマレーザーCVDによりグラファイト上に作成したSiC薄膜の微構造.)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:34:40 +0900更新時刻: 2024-03-29 22:17:25 +0900