Pt-Ir合金キログラム原器表面上のハイドロカーボン層のARXPSによる膜厚評価方法.
(New Thickness Evaluation Method for Hydrocarbon Overlayer on the Surface of the Kilogram Prototype with Angle Resoved X-ray Phot)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:34:28 +0900更新時刻: 2018-12-14 22:09:23 +0900