電子照射によるシリコンの表面応力の緩和
(Surface stress relaxation induced by electron iradiation)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:39:45 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:39:45 +0900