HOME > 論文 > 書誌詳細二酸化シリコン薄膜(SiO2)の電子線照射損傷を定量的に評価する(Evaluation of the extend of electron irradiation damage on SiO2/Si)木村 隆, 西田 憲二, 田沼 繁夫, 井上雅彦, 鈴木峰晴, 橋本哲, 三浦薫. 表面科学会誌 25 [4] 212-216. 2004.NIMS著者木村 隆Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 12:03:52 +0900更新時刻: 2018-12-15 01:28:23 +0900