二酸化シリコン薄膜（SiO2）の電子線照射損傷を定量的に評価する
(Evaluation of the extend of electron irradiation damage on SiO2/Si)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 12:03:52 +0900 更新時刻: 2018-12-15 01:28:23 +0900