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ブリスタリングによる応力変調を利用した局所シリコン酸化の観察

五十嵐 慎一, 板倉 明子, 北島 正弘, 中野 伸祐, 武藤 俊介, 田辺 哲朗, 山本 博之, 北條 喜一.
表面科学 25 [9] 562-567. 2004.

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    作成時刻: 2016-05-24 12:03:10 +0900更新時刻: 2024-04-02 06:27:17 +0900

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