HOME > 論文 > 書誌詳細ブリスタリングによる応力変調を利用した局所シリコン酸化の観察五十嵐 慎一, 板倉 明子, 北島 正弘, 中野 伸祐, 武藤 俊介, 田辺 哲朗, 山本 博之, 北條 喜一. 表面科学 25 [9] 562-567. 2004.https://doi.org/10.1380/jsssj.25.562 NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 12:03:10 +0900更新時刻: 2024-04-02 06:27:17 +0900