HOME > Article > Detailブリスタリングによる応力変調を利用した局所シリコン酸化の観察五十嵐 慎一, 板倉 明子, 北島 正弘, 中野 伸祐, 武藤 俊介, 田辺 哲朗, 山本 博之, 北條 喜一. 表面科学 25 [9] 562-567. 2004.https://doi.org/10.1380/jsssj.25.562 Open Access 出版者 (Publisher) NIMS author(s)ITAKURA, AkikoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2016-05-24 12:03:10 +0900 Updated at: 2026-10-08 08:01:03 +0900
