HOME > 論文 > 書誌詳細Formation of nano-crystalline SiC Films by laser CVD at low temperature(低温レーザCVDによるナノ結晶SiC膜の生成)SUZUKI, Hiroshi, ARAKI, Hiroshi, 石川信博, 野田哲二, 石川信博, 野田哲二. Journal of Surface Analysis 3 [2] 426-430. 1997.NIMS著者鈴木 裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:37:56 +0900更新時刻: 2018-12-15 00:02:22 +0900
