硬X線光電子分光法による素子薄膜のバルク敏感電子状態評価
(Ex-site Characterization of Thin File Materials for Advanced Devices by Hard X-ray Photoemission Spectroscopy )
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 16:01:28 +0900 更新時刻: 2026-11-01 04:36:08 +0900