Surface Morphology and Structural Changes in Insulators Induced by High-Current 60 keV Cu- Implantation
(60keV大電流銅イオン注入による絶縁体の表面形態と構造変化)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:06:29 +0900更新時刻: 2022-09-05 11:06:29 +0900