Real-Time Observation of Ultra Thin Silicon Oxide Film Growth by Rapid Ellipsometry.
(高速エリプソメトリーによる極薄酸化シリコン膜成長の実時間観察.)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:39:00 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:39:00 +0900