マグネトロンスパッタによるTiC被覆Moの機械的性質
(Mechanical Behavior of Tic Film Coated on Mo by Magnetron Sputtering)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:27:19 +0900更新時刻: 2024-09-08 05:25:25 +0900