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マグネトロンスパッタによるTiC被覆Moの機械的性質
(Mechanical Behavior of Tic Film Coated on Mo by Magnetron Sputtering)

福富勝夫, 新野仁, 藤塚正和, 岡田雅年, T. Shikama, H. Shinno, M. Fukutomi, M. Fujitsuka, M. Okada.
Journal of Materials Science 18 [10] 3099-3104. 1983.
https://doi.org/10.1007/bf00700794

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      作成時刻: 2016-05-24 11:27:19 +0900更新時刻: 2025-01-13 05:14:58 +0900

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