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Electrical properties of atomic layer deposited HfO2/Al2O3 multilayer on diamond

Jiangwei Liu, Meiyong Liao, Masataka Imura, Hirotaka Oosato, Eiichiro Watanabe, Yasuo Koide.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2016-05-24 17:34:34 +0900更新時刻: 2024-09-12 06:06:29 +0900

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