HOME > 論文 > 書誌詳細Resuscitation of Carbon-Contaminated Mirrors and Gratings by Oxygen-Discharge Cleaning. 1.Efficiency Recovery in the 4-40eV rang小出常晴, 柳原美広, 相浦義弘, 佐藤繁, 設楽哲夫, 藤森淳, 福谷博仁, 庭野道夫, 加藤博雄. Applied Optics 3884. 1987.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:28:42 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:28:42 +0900
