TiN/Ti/SiにおけるAES深さ方向状態解析へのファクターアナリシス法の応用.
(Application of Factor Analysis and AES to the Chemical State Depth Profiling of TiN/Ti/Si.)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:33:18 +0900 更新時刻: 2018-12-14 22:01:37 +0900