Fabrication and Analysis of Buried Iron Silicide Microstructures Using a Focused Low Energy Electron Beam
(収束低速電子線を用いたミクロサイズの鉄シリサイドの作製と物性評価)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-10-21 22:33:45 +0900 更新時刻: 2022-10-21 22:33:45 +0900