HOME > 論文 > 書誌詳細窒化処理シリコン酸化膜の応力変動と膜質評価(Surface stress during nitridation)中村明子. JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN . 2002.NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 11:14:04 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:14:04 +0900
