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Ultramicro Fabrications on Fe-Ni Alloys Using Electron-Beam Writing and Reactive-Ion Etching
(電子線描画法と反応性イオンエッチング法によるFe-Ni合金の超微細加工)

NAKATANI, Isao.
IEEE Transaction of Magnetic(IEEE.Trans.Mag) . .

NIMS著者

    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

      作成時刻: 2022-11-15 00:39:08 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:39:08 +0900

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